主講人簡介🤯：

許鵬程，博士，中國科沐鸣2上海微系統與信息技術研究所傳感技術國家重點實驗室副研究員 ，碩士研究生導師。2015年入選中科院青年創新促進會（青促會）🚙，2013年起任中國電子學 會氣濕敏傳感技術專委會委員。許鵬程主要從事基於MEMS技術的微納傳感器相關研究🤹🏻‍♀️，研 究領域涉及信息、電子、化學、材料以及儀器儀表等多門類交叉學科。有60余篇SCI檢索論文 發表於Anal. Chem.🐱、Small、Sensors & Actuators B、biosensors & Bioelectronics、J. Mater. Chem. A🍎、J. Am. Chem. Soc.等期刊上，獲SCI引用1300余次。在傳感技術頂級國際會議（包括IEEE MEMS和Transducers）發表論文30余篇。獲授權專利10余項。

報告摘要：

氣體傳感器是典型的生化檢測器件，其核心部分包括檢測平臺和敏感材料兩部分。本報告首 先介紹微機電系統（MEMS）技術在微納傳感器製造中的發展現狀，重點介紹質量型和半導 體型兩大類氣體傳感器的集成化與微型化以及未來的發展趨勢😉。報告的第二部分介紹先進敏 感材料的設計、優化與傳感機理。該部分以功能化介孔材料為例，介紹高性能微質量型敏感 材料的研製及應用進展。在半導體型氣敏材料的研製方面，本報告以ZnO納米線為例，介紹 該類納米敏感材料的設計思路並探討其氣敏機理🍢。